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量測行程(mm)

150*100*175

200*100*175

250*150*175

300*200*175

400*300*175

500*300*175

外形尺寸

540x560x850

540x560x850

760x600x900

760x600x900

970x670x940

970x770x940

機臺底座材料

高精度花崗石

照明系統

表面光源與透射光源均用LED，亮度可調

CCD

高解析度日本索尼彩色CCD

X,Y軸量測精度

（3+L/200）um

放大倍率

Step Zoom光學放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X

光學尺解析度

1 um

重復性

2 um

操作方式

手動

電源供給

110V/220V

合適溫度，濕度

溫度：19°--24°，濕度：45%--75%